总部位于荷兰的光刻机巨头阿斯麦(ASML.US)最大规模客户之一台积电(TSM.US)近日罕见表态称,阿斯麦最新型的先进芯片制造光刻机器的价格令人望而却步。台积电高级副总裁Kevin Zhang周二在阿姆斯特丹的一个技术研讨会上表示:“这台EUV光刻机成本非常高。”他指的是阿斯麦最新推出的“high-NA”级别极紫外(EUV)光刻机。我喜欢high-NA EUV的性能,但我确实不喜欢它的标价。”
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