据韩国业界消息,韩国半导体巨头三星电子、SK海力士正利用氖气回收技术,以实现可持续发展,并降低成本、减轻供应风险。SK海力士近日宣布与韩国气体供应商TEMC合作,在氖气回收方面取得突破。三星电子也紧随其后,计划在2025年将氖气回收技术整合到其制造工艺当中。氖气用于半导体光刻中激发激光,通过利用装置收集废气,SK海力士与TEMC实现了72.7%的氖气回收率,并计划将效率进一步提升至77%。
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