1. 上世纪80年代,科学家就开始研究EUV,领头的是贝尔实验室,随后,美国能源部旗下的三大实验室:劳伦斯利弗莫尔,劳伦斯伯克利和桑迪亚加入,能源部投资了几千万美元;
2. 为了加快研究,1997年成立了EUV LLC联盟,英特尔、AMD、摩托罗拉等公司加入EUV研发,光刻机制造公司硅谷集团和阿斯麦亦在其中;
3. 美国拒绝了日本光刻机公司加入LLC联盟,当时,在技术实力和市场份额上,日本的尼康和佳能处于领先地位,但日本半导体对美国产生了威胁,华盛顿不想在下一代技术上让日本领先;
4. 阿斯麦依赖德国蔡司,EUV光刻机离不开高端镜头,用于EUV技术的镜头只允许一个原子的误差,相当于如果将镜子缩放到一个国家的大小,最高的凸起将只有1毫米高;
5. EUV研发耗时、耗资巨大,直到2012年,EUV光刻机技术才被证实可行,但仍需大量资金投入,阿斯麦向自己的客户寻求支持,台积电于是投资了14亿美元,三星投资了9.74亿美元,英特尔投资41亿美元;
6. 直到2018年,EUV光刻机才规模量产,但投资最多的英特尔认为EUV光刻机制造成本较高,不具备经济性,因此在使用上并不积极,相反,台积电极力看好EUV光刻机潜力,最终凭借EUV实现生产工艺的反超,最终,英特尔市值只有1600亿美元,远低于台积电的7600亿,而在2018年之前,英特尔的技术遥遥领先于台积电: $英特尔(INTC)$ $台积电(TSM)$ $阿斯麦(ASML)$ $美国超微公司(AMD)$