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长鑫存储申请半导体结构及其形成方法、存储器专利,专利技术能减小寄生电容,降低GIDL

2024-03-30 21:43:20
金融界
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摘要:金融界2024年3月29日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法、存储器“,公开号CN117794237A,申请日期为2022年9月。专利摘要显示,本公开是关于半导体技术领域,涉及一种半导体结构及其形成方法、存储器,本公开的半导体结构包括衬底、第一介质层、导电层及半导体层,其中:衬底包括有源区,有源区内具有字线沟槽;第一介质层随形贴附于字线沟槽内;导电层位于第一介质层表面,且填充部分字线沟槽,导电层远离字线沟槽底部的一端与第一介质层之间具有预设间隙;半导体层位于所述预设间隙及所述导电层的顶部。本公开的半导体结构可减小寄生电容,降低GIDL。

金融界2024年3月29日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法、存储器“,公开号CN117794237A,申请日期为2022年9月。

专利摘要显示,本公开是关于半导体技术领域,涉及一种半导体结构及其形成方法、存储器,本公开的半导体结构包括衬底、第一介质层、导电层及半导体层,其中:衬底包括有源区,有源区内具有字线沟槽;第一介质层随形贴附于字线沟槽内;导电层位于第一介质层表面,且填充部分字线沟槽,导电层远离字线沟槽底部的一端与第一介质层之间具有预设间隙;半导体层位于所述预设间隙及所述导电层的顶部。本公开的半导体结构可减小寄生电容,降低GIDL。

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