中科仪申请超高真空针阀驱动组件专利，该专利技术能达到整体耐高温、装配方便，运动稳定，控制精度高，适用范围广等效果lg...

摘要：金融界2024年2月21日消息，据国家知识产权局公告，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“一种适用于超高真空的针阀驱动组件“，公开号CN117570253A，申请日期为2024年1月。专利摘要显示，本发明属于针阀领域，具体地说是一种适用于超高真空的针阀驱动组件，包括具有刻度指示线的主体固定座，集压缩波纹管和驱动杆为一体的CF法兰，起精准导向作用的耐高温自润滑导套，与驱动杆内螺纹高精度配合的驱动螺杆，支撑驱动螺杆旋转的轴承，大气侧连接动力源的联轴器，真空侧可快速安装针阀的固定环。本发明提供了一种适用于超高真空的针阀驱动组件，该组件具有整体耐高温、装配方便，运动稳定，控制精度高，适用范围广等特点。