长鑫存储申请废气处理设备及处理方法专利，提升废气处理设备的安全性和可靠性lg...

摘要：金融界2024年2月19日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“废气处理设备及处理方法“，公开号CN117553306A，申请日期为2022年8月。专利摘要显示，本公开提供了一种废气处理设备及处理方法，涉及半导体技术领域。废气处理设备包括废气输送通道、废气燃烧腔室、连接通道和加热装置，连接通道用于连通废气输送通道和废气燃烧腔室；加热装置设置于连接通道处，加热装置用于对连接通道中的废气进行加热。通过在连接通道处设置加热装置，对连接通道中的废气进行加热，减少废气在连接通道中发生反应生成的结晶，同时可以消除部分已产生的结晶，避免连接通道堵塞，保证废气处理设备的正常运转，提升废气处理设备的安全性和可靠性。