英杰电气在机构调研时表示,截止到2023年11月底,公司射频电源的订单已经有9000多万,其中绝大部分都是半导体设备端的电源订单,还有少部分在其他行业。从订单数量级别上看,可以说已经进入了批量供应阶段。另外,公司目前用于topcon的溅射电源已经有了一定的量,也是最近几个月开始上量的。截止到2023年11月底,有4000万左右的订单,相比之前的几百万,在订单上有了较大的突破。
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